高纯石英砂的重要性
石英坩埚是硅片生产环节中的关键耗材,其质量对直拉单晶硅片影响重大
石英坩埚是单晶炉内装放高温硅熔液的器皿,作为硅片生产环节中的关键耗材,其质量对直拉单晶硅片影响重大。石英坩埚变形后,凸出部分会与导流筒发生碰撞,影响拉晶成晶率和硅片质量。石英坩埚析晶时,容易破坏...  [详内文]
拥“砂”为王,石英坩埚真的缺吗? |
作者 |发布日期 2022 年 11 月 22 日 10:26 | | 分类 分析评论 |